真空爐石墨件是真空爐中用于加熱、隔熱、支撐及傳輸?shù)年P(guān)鍵部件，采用高純度石墨材料制成，具有耐高溫、低放氣、化學(xué)惰性等特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、航空航天材料處理等領(lǐng)域。
特點：
? ? 耐高溫：在真空或惰性氣體環(huán)境中可穩(wěn)定工作于2000℃以上，部分型號理論熔點高達3850℃。
? ? 低放氣：高溫下放氣率遠低于金屬，適合超高真空工藝。
? ? 自潤滑：層狀晶體結(jié)構(gòu)使其在無潤滑脂環(huán)境下仍能保持順暢旋轉(zhuǎn)與位移。
? ? 化學(xué)惰性：對酸、堿、鹽溶液及腐蝕性氣體（如氫氣、氨氣）具有強耐腐蝕性。
主要類型
加熱元件
? ? 石墨棒/管：通過電流直接加熱，空心設(shè)計提升電能利用率，用于光伏多晶硅鑄銳爐等場景。
結(jié)構(gòu)支撐件
? ? 石墨橫梁與支架：用于承載工件，例如雙成新材生產(chǎn)的石墨橫梁可長期維持潤滑膜。
? ? 石墨螺栓/螺母：高純度材料加工，螺紋精度達IT7-IT8級，適用于高溫緊固場景。
功能配件
? ? 石墨管道：分為壓型管與浸漬管，用于輸送腐蝕性介質(zhì)或作為換熱元件。
? ? 導(dǎo)電桿與連接片：電阻系數(shù)低，減少熱損耗，適用于半導(dǎo)體外延生長等精密工藝。
設(shè)計要求
? ? 功能需求：需確保熱量有效傳遞并減少熱損失，例如發(fā)熱體設(shè)計需考慮電流導(dǎo)入方式及溫度分布均勻性。
? ? 工作環(huán)境：需承受高溫變形、真空密封性及化學(xué)穩(wěn)定性，例如石墨隔熱碳氈采用多層堆疊結(jié)構(gòu)提升隔熱性能。
? ? 加工精度：尺寸精度和表面質(zhì)量需滿足嚴格工藝要求，采用螺紋連接或法蘭連接確保密封性。
