【PH異常通報(bào)】
科室：Photo
機(jī)臺(tái)：PH13
型號(hào)：10.9CL
Layer：VIA
原因：NO VIA不良
時(shí)長：
1/28 停機(jī) 463min；
1/29停機(jī) 837min；
1/30停機(jī)＞960min（截止22點(diǎn)）
影響：
①PH Mov折損＞1.88K（0.63K/D）
②P4的持續(xù)供應(yīng)Cell，確保Cell不IDLE，過程監(jiān)控及AT段持續(xù)skip對(duì)應(yīng)生產(chǎn)（預(yù)計(jì)1.5D）
③因產(chǎn)品投入問題，目前后端僅P4/11.45RF產(chǎn)出，其余為XPS產(chǎn)品，無法堆積起有效bank，Cell無法sorting，預(yù)計(jì)影響投入0.6K左右
后續(xù)影響
N10明日到達(dá)ITO層，目前后端設(shè)備暫無設(shè)備對(duì)應(yīng)，需前段設(shè)備對(duì)應(yīng)，影響佳能產(chǎn)品投入（F1）
還是沒有方向嗎
今天把cln厚的單元都清潔了，結(jié)果無效，旋轉(zhuǎn)測試固定在顯影之前，現(xiàn)在還在做split拆分。
下午我?guī)ш?duì)清潔，發(fā)現(xiàn)幾個(gè)異常點(diǎn)，做首個(gè)lot無效，也有可能量太少，惡化測試后會(huì)增加lot驗(yàn)證，丁瑞也從淮北返回公司，晚上他會(huì)值班確認(rèn)。
我看之前那幾個(gè)方向，不太滿足突然發(fā)生的條件
這次的膠和產(chǎn)品有特別的變化嗎
沒有，還在查
方向其實(shí)就是兩個(gè)，1.找專家?guī)兔?，幫我們鎖定，CF經(jīng)驗(yàn)，兄弟單位經(jīng)驗(yàn)，專家們。2.放棄幻想設(shè)定科學(xué)驗(yàn)證方案，快速找出原因。
現(xiàn)在對(duì)產(chǎn)能的影響越來越大。所以晚上的驗(yàn)證不能自由發(fā)揮，要科學(xué)。
今天上午就在photo工序討論了，下午停機(jī)也是驗(yàn)證這幾個(gè)方向，剛剛還在溝通，過會(huì)看看split結(jié)果。
