真空計(jì)，又叫真空規(guī)。

半導(dǎo)體設(shè)備中，不可避免的用到真空計(jì)，主要是用來(lái)測(cè)量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強(qiáng)。

是什麼？能做什么？怎么用？

1，是什麼？

真空計(jì)，字面意思，計(jì)量真空度的儀器。

2，能做什么？

真空計(jì)主要用來(lái)測(cè)量真空，或者叫測(cè)量壓強(qiáng)大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強(qiáng)大，真空計(jì)顯示的數(shù)值就大；反之，真空計(jì)顯示的數(shù)值小。

3，怎么用？

一般就是把真空計(jì)的物理接口，KF接口或者是螺紋接口接到腔室上，然后把真空計(jì)的電氣接口接到電腦或者專用的顯示儀表上。這樣就可以測(cè)量腔室的真空度，也能看到真空度具體的數(shù)值了。

4，注意，真空計(jì)是有分類的，有的適合測(cè)量低真空，也就是壓強(qiáng)大一些的；有的適合測(cè)量高真空，也就是壓強(qiáng)小一些的。

一般常用的是熱電偶真空計(jì)，皮拉尼真空計(jì)，冷陰極真空計(jì)，電離真空計(jì)。

自己接觸過(guò)的真空計(jì)有電離式，皮拉尼式和冷陰極式真空計(jì)。

具體各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次補(bǔ)上，一塊學(xué)習(xí)。