恒歌 DF 系列擴(kuò)散器專用過濾器,考慮到不同工藝的設(shè)備需求。其融合氣體流動(dòng)與顆粒攔截功能,過濾精度低至 0.003μm,可滿足超純氣體系統(tǒng)對(duì)顆??刂频臉?biāo)準(zhǔn)。整體為 316L 不銹鋼構(gòu)造,在高效過濾的同時(shí),消除湍流帶來的隱患,保護(hù)工藝室環(huán)境。支持定制化設(shè)計(jì),能應(yīng)對(duì)緊湊空間和特殊接口情況,提供過濾方面的解決方案。

恒歌 DF 系列擴(kuò)散器專用過濾器,考慮到不同工藝的設(shè)備需求。其融合氣體流動(dòng)與顆粒攔截功能,過濾精度低至 0.003μm,可滿足超純氣體系統(tǒng)對(duì)顆??刂频臉?biāo)準(zhǔn)。整體為 316L 不銹鋼構(gòu)造,在高效過濾的同時(shí),消除湍流帶來的隱患,保護(hù)工藝室環(huán)境。支持定制化設(shè)計(jì),能應(yīng)對(duì)緊湊空間和特殊接口情況,提供過濾方面的解決方案。