Logosol LPA26-3 獨立預對準器 LOGOSOL獨立晶圓預校正器

【深圳灣邊】Logosol LPA26-3獨立晶圓預校正器特點

創(chuàng)新、高性能、一體化設計，無需外部控制器和連接線纜，同時保持即插即用兼容性

由超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平滑、即時響應。

先進的掃描電子技術，能夠在不同晶圓尺寸之間無需機械重新定位即可檢測透明、半透明和不透明物體。

運動控制軟件集成了多種常用指令，支持與各類半導體平臺的兼容性和接口連接

典型的對準周期時間少于四秒，有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。


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LOGOSOL獨立晶圓預校正器LPA26-3 尺寸



LOGOSOL獨立晶圓預校正器選型


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