微電子潔凈室過濾方案,守住產(chǎn)線良率生命線

在液晶面板、通訊芯片等微電子制造行業(yè),潔凈室的空氣潔凈度,就是產(chǎn)線良率的生命線。空氣中 0.3μm 的微塵、焊錫煙塵、金屬離子,都可能直接導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢,造成巨大損失。憑借定制化過濾方案,已為華星光電、中興通訊等多家行業(yè)頭部企業(yè),打造了穩(wěn)定可靠的潔凈室空氣凈化系統(tǒng)。

行業(yè)痛點(diǎn):微電子產(chǎn)線的空氣凈化難題

微電子制造對(duì)空氣環(huán)境有著近乎嚴(yán)苛的要求:

超高潔凈度要求:面板 / 芯片產(chǎn)線需達(dá)到 ISO 1-5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),對(duì) 0.3μm 顆粒的攔截效率要求極高。

焊錫廢氣治理難:SMT 工序產(chǎn)生的焊錫煙塵與有機(jī)廢氣,易腐蝕電路板,還危害員工健康。

高能耗與高運(yùn)維成本:24 小時(shí)不間斷運(yùn)行的產(chǎn)線,對(duì)過濾器壽命、節(jié)能性提出雙重挑戰(zhàn)。

赫爾曼定制化解決方案

針對(duì)微電子行業(yè)的需求,赫爾曼打造了「三級(jí)過濾 + 低阻節(jié)能 + 模塊化適配」的專屬方案:

三級(jí)過濾體系,實(shí)現(xiàn)超高效攔截

采用「初效板式 / 袋式過濾器 + 中效玻纖袋式過濾器 + 高效 HEPA/ULPA 過濾器」的組合,實(shí)現(xiàn)對(duì) 0.3μm 顆粒 99.999% 以上的攔截效率,確保潔凈室顆粒濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。

低阻節(jié)能設(shè)計(jì),降低產(chǎn)線能耗

優(yōu)化濾材結(jié)構(gòu)與風(fēng)阻,配合 FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元,有效降低產(chǎn)線空調(diào)系統(tǒng)能耗約 15%,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)降本增效。

模塊化方案,適配不同場(chǎng)景

針對(duì) SMT 焊錫工位定制活性炭過濾器,高效吸附有機(jī)廢氣;針對(duì)產(chǎn)線擴(kuò)產(chǎn)需求,提供可靈活擴(kuò)展的模塊化過濾系統(tǒng),部署周期縮短 30%。

客戶案例成果

華星光電面板產(chǎn)線項(xiàng)目:

實(shí)施后,潔凈室顆粒濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo),面板生產(chǎn)良率提升 2.3%;同時(shí),通過優(yōu)化過濾結(jié)構(gòu),過濾器使用壽命延長 20%,年運(yùn)維成本降低約 18%。

中興通訊 SMT 車間項(xiàng)目:

定制化廢氣過濾方案將車間污染物濃度降至行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)以下,員工職業(yè)健康風(fēng)險(xiǎn)顯著降低;模塊化系統(tǒng)隨產(chǎn)線擴(kuò)展靈活調(diào)整,完美匹配快速擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏。上門檢測(cè)、按需更換、定期巡檢服務(wù),保障產(chǎn)線無間斷運(yùn)行。提供空氣流場(chǎng)模擬、過濾系統(tǒng)設(shè)計(jì)、安裝調(diào)試一站式服務(wù),為客戶打造適配的凈化方案。覆蓋初 / 中 / 高效過濾器、FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元、耐高溫過濾器等,滿足微電子行業(yè)全場(chǎng)景凈化需求。

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