第一章 能帶和熱平衡載流子濃度

1.1 半導(dǎo)體材料

硅器件在室溫下有較佳的特性,且高品質(zhì)的硅氧化層可由熱氧化的方式生長(zhǎng),價(jià)格低廉,豐度僅次于氧,工藝發(fā)展最為完善。

砷化鎵適用于高速和光電器件。

1.2 基本晶體結(jié)構(gòu)

晶格:晶體中原子的周期性排列

Si、Ge金剛石結(jié)構(gòu)(兩個(gè)面心立方沿對(duì)角線\frac{1}{4} ),共價(jià)鍵、正四面體

只有釙(polonium)屬于簡(jiǎn)立方結(jié)構(gòu)

密度=每立方厘米中的原子數(shù)x每摩爾原子質(zhì)量/阿伏伽德羅常數(shù)

密勒指數(shù)定義:
①找出晶面在直角坐標(biāo)系中三個(gè)坐標(biāo)軸上的截距(以晶格常數(shù)為單位)

②取三個(gè)截距值的倒數(shù),并將其化為最小的整數(shù)比

③將此結(jié)果以“(hkl)”表示,即為這個(gè)晶面的密勒指數(shù)

1.3 共價(jià)鍵

一個(gè)自由電子產(chǎn)生的同時(shí),會(huì)在共價(jià)鍵中留下一個(gè)空位,這個(gè)空位可以由鄰近的一個(gè)價(jià)電子填充,從而產(chǎn)生空位的移動(dòng),可以把這個(gè)空位抽象成類(lèi)似于電子的一種粒子,這種虛構(gòu)的粒子稱(chēng)為空穴。

1.4 能帶

Si禁帶寬度1.12eV,對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)\frac{1.12}{1240} nm

能量-動(dòng)量 能帶圖

如果導(dǎo)帶底位于p=0處,這意味著晶體中電子的有效質(zhì)量在每個(gè)晶向上都是相同的,同時(shí),這也表明電子的運(yùn)動(dòng)情況與晶向無(wú)關(guān)。如果導(dǎo)帶底位于p\neq 0,那么晶體中電子的特性在不同晶向上是不統(tǒng)一的。一般來(lái)說(shuō),極性(含部分離子鍵特性)半導(dǎo)體中,導(dǎo)帶底傾向于出現(xiàn)在p=0處,這與晶格結(jié)構(gòu)以及價(jià)鍵的離子性成分所占比例有關(guān)。

間接帶隙需能量\geq Eg,動(dòng)量\geq Pc

發(fā)光管二極管和半導(dǎo)體激光器需要直接帶隙半導(dǎo)體高效地產(chǎn)生光子。

1.5 本征載流子濃度

載流子:參與導(dǎo)電的電子和空穴

產(chǎn)生:①本征激發(fā):電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶,形成導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴。

? ? ? ? ?? ②雜質(zhì)電離:當(dāng)電子從施主能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶時(shí)產(chǎn)生導(dǎo)帶電子,當(dāng)電子從價(jià)帶激發(fā)到受主能級(jí)時(shí)產(chǎn)生價(jià)帶空穴。

當(dāng)半導(dǎo)體的溫度大于絕對(duì)零度時(shí),就有電子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶中,同時(shí),價(jià)帶中產(chǎn)生空穴,這就是本征激發(fā),電子、空穴成對(duì)出現(xiàn)。n_{0} =p_{0}

當(dāng)半導(dǎo)體中的雜質(zhì)數(shù)量遠(yuǎn)小于由熱激發(fā)產(chǎn)生的電子和空穴時(shí),這種半導(dǎo)體稱(chēng)為本征半導(dǎo)體。

本征半導(dǎo)體中的電子濃度(即單位體積中的電子數(shù)),首先計(jì)算能量E\rightarrow E+dE內(nèi)的電子濃度。濃度n(E)由單位體積內(nèi)允許的能態(tài)密度N(E)*電子占據(jù)此能量范圍的幾率F(E)的乘積得出。

n=\int_{0}^{Etop} N(E)F(E)dE ? ? ? ,n的單位cm^{-3},N(E)單位(cm^3 \cdot eV)^{-1}

一個(gè)電子占據(jù)能量為E的能態(tài)的幾率可由費(fèi)米狄拉克分布函數(shù)得出:
 F(E)=\frac{1}{1+exp\frac{E-E_{F}}{kT} }

k是玻爾茲曼常數(shù),T是以開(kāi)爾文為單位的絕對(duì)溫度,費(fèi)米能級(jí)是電子占據(jù)率為1/2時(shí)的能級(jí)能量。


Schematic band diagram,density of states, Fermi-Dirac distribution, and carrier concentrations for (a)intrinsic, (b)n-type, (c)p-type semiconfuctors at theeraml equilibrium.


導(dǎo)帶底部定為Ec,導(dǎo)帶電子濃度


價(jià)帶空穴濃度

對(duì)于本征半導(dǎo)體而言,導(dǎo)帶中每單位體積的電子數(shù)與價(jià)帶中每單位體積的空穴數(shù)相同;即n=p=ni,ni稱(chēng)為本征載流子濃度。

本征半導(dǎo)體費(fèi)米能級(jí)


本征載流子濃度

一定的半導(dǎo)體材料,其本征載流子濃度ni隨溫度上升而迅速增加;不同的半導(dǎo)體材料在同一溫度下,Eg越大,ni越小。

1.6 施主與受主

空穴是由于電子缺失產(chǎn)生的帶正電荷的“準(zhǔn)粒子”。

有效雜質(zhì)濃度是經(jīng)過(guò)補(bǔ)償之后,半導(dǎo)體中的凈雜質(zhì)濃度。

當(dāng)半導(dǎo)體被摻入雜質(zhì)時(shí),半導(dǎo)體變成非本征的(extrinsic),而且被引入了雜質(zhì)能級(jí)。

雜質(zhì)原子成為晶格中的缺陷,破壞了晶格的周期性,帶隙內(nèi)出現(xiàn)了原先被禁止的能級(jí),換句話說(shuō),雜質(zhì)原子將在帶隙中引入一個(gè)或多個(gè)能級(jí)。

非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體:費(fèi)米能級(jí)至少比Ev高3kT,或比Ec低3kT。

簡(jiǎn)并半導(dǎo)體:當(dāng)摻雜濃度等于或高于相應(yīng)的導(dǎo)帶或價(jià)帶有效態(tài)密度時(shí),對(duì)于很高摻雜的n型或p型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)將高于Ec或低于Ev,這種半導(dǎo)體是簡(jiǎn)并半導(dǎo)體。高摻雜的重要特點(diǎn)是禁帶寬度變窄效應(yīng)。

完全電離情況下:電子濃度為n=N_D,E_C-E_F=kTln(\frac{N_C}{N_D} )

同理,完全電離情況下:空穴濃度為p=N_A,E_F-E_V=kTln(\frac{N_V}{N_A} )

以本征載流子濃度ni及本征費(fèi)米能級(jí)Ei來(lái)表示電子和空穴濃度:


n型


p型

熱平衡情況下,上式對(duì)于本征和非本征、非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體都適用。

不同雜質(zhì)濃度下,費(fèi)米能級(jí)溫度依賴(lài)關(guān)系(禁帶寬度溫度依賴(lài)關(guān)系)

當(dāng)溫度上升時(shí),費(fèi)米能級(jí)接近本征能級(jí),即半導(dǎo)體變得本征化。


電子濃度隨溫度變化關(guān)系

在低溫時(shí),晶體中的熱激發(fā)不足以電離所有的施主雜質(zhì),有些電子被“凍結(jié)(frozen)”在施主能級(jí)中,因此電子濃度小于施主濃度。溫度上升之后,施主雜質(zhì)能夠完全電離(n=Nd),當(dāng)溫度繼續(xù)上升,電子濃度在一段很寬的溫度范圍內(nèi)保持恒定,這段區(qū)域被稱(chēng)為非本征區(qū),然而,當(dāng)溫度繼續(xù)上升至某一溫度值時(shí),本征載流子濃度將增加得與施主濃度可比。超過(guò)此溫度后,半導(dǎo)體將本征化,本征化的溫度取決于雜質(zhì)濃度和禁帶寬度。

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