反射光顯微鏡通常被稱為入射光，落射照明，或金相顯微鏡，是熒光的選擇的方法和用于成像該保持不透明，即使研磨到厚度為30微米的樣品。
標(biāo)本落入該類別的范圍是巨大的，并且包括大多數(shù)金屬，礦石，陶瓷，許多聚合物，半導(dǎo)體（未處理硅，晶片和集成電路），爐渣，煤，塑料，涂料，紙，木材，皮革，玻璃夾雜和多種專門材料。因?yàn)楣獠荒艽┻^這些標(biāo)本，它必須被引向所述表面，并最終由任一鏡面或漫反射返回到顯微鏡物鏡。如上所述，這樣的照明是最經(jīng)常被稱為落射照明，或垂直照明（從上方基本上始發(fā)），與此相反落射（發(fā)射）的照明，通過檢體傳遞。
今天，許多顯微鏡制造商提供的模型，允許用戶交替或同時(shí)使用垂直和透射照明進(jìn)行調(diào)查。構(gòu)造成用于這兩種類型的照明的典型顯微圖1示出了用于反射光的光路與源自對反射光（上部殼體在圖1和圖3）的燈殼體照明射線開始。該光下穿過聚光透鏡并進(jìn)入其中，它是由光圈和視場光闌控制的垂直照明器（圖2）。穿過垂直照明后，將光然后通過物鏡分束器（半反射鏡或橢圓形的第一面反射鏡）反射以照射樣品。
光從樣品表面反射的重新進(jìn)入物鏡，并傳遞到雙目頭部在那里被引導(dǎo)要么目鏡或?yàn)轱@微攝影的端口。反射光顯微鏡常常是工業(yè)顯微鏡的領(lǐng)域，尤其是在快速增長的半導(dǎo)體領(lǐng)域，因此代表顯微鏡研究的最重要的環(huán)節(jié)。
一個(gè)典型的直立復(fù)式反射光顯微鏡還裝有用于透射光具有兩個(gè)目鏡觀看管（圖1）和通常是一個(gè)三目管頭，用于安裝一個(gè)常規(guī)的或數(shù)字/攝像機(jī)系統(tǒng)（未示出）。標(biāo)準(zhǔn)裝備目鏡通常是放大10倍，而且大部分顯微鏡都配有可容納四到六個(gè)物鏡的物鏡轉(zhuǎn)盤。機(jī)械載物臺與樣品保持器可在X和Y方向被移動和整個(gè)載物臺單元能夠精確上下用粗運(yùn)動和精細(xì)調(diào)焦機(jī)構(gòu)的控制。
內(nèi)置光源的范圍從20至100瓦鎢 - 鹵素?zé)襞萦谠跓晒怙@微鏡中使用較高的能量汞蒸氣或氙氣燈。光從通過管口以上但低于觀看管頭的下側(cè)插入一垂直照明燈箱通行證。檢體的頂表面是直立（通常沒有蓋玻片）在面向物鏡，這已被旋轉(zhuǎn)到顯微鏡的光軸的載物臺。垂直照明水平取向成90度角的顯微鏡并平行于臺面的光軸，與連接到照明器的背面的燈外殼。粗，微調(diào)旋鈕提高或降低在或大或小的增量載物臺，將標(biāo)本清晰聚焦。
反射光顯微鏡的另一個(gè)變化是反向的勒夏忒列設(shè)計(jì)顯微鏡-的（圖4）。在倒置的立場，將樣品放置在臺上朝向其感興趣的表面向下。這種設(shè)計(jì)的主要優(yōu)勢是，樣品可以當(dāng)它們太大而無法進(jìn)入一個(gè)直立式顯微鏡的范圍可以很容易地檢查。此外，只有朝向物鏡側(cè)不必是完全平坦的。其物鏡是使他們面臨的鏡頭正面向上朝著標(biāo)本和聚焦要么是通過移動物鏡轉(zhuǎn)換器或整個(gè)載物臺上下完成了臺下安裝在物鏡轉(zhuǎn)換器。
倒置顯微鏡直立在顯微鏡的主體內(nèi)摻入的垂直照明器。許多類型的物鏡可以與倒置的反射光顯微鏡中使用，并且反射的光照明的所有模式是可能的：明，暗場，偏振光，微分干涉對比，和熒光。許多倒置顯微鏡都有內(nèi)置的35毫米至/或大畫幅相機(jī)或者是模塊化的，允許這樣的配件進(jìn)行連接。一些儀器包括用于圖像，對比度濾鏡在放大倍率轉(zhuǎn)換，并有多種光罩的。因?yàn)樵诘怪蔑@微鏡是用于金相喜愛儀器，它經(jīng)常被稱為金相。制造商在很大程度上遷移到在反射光顯微鏡使用無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，但仍然有成千上萬的固定管長度的顯微鏡中使用具有160和210毫米之間的管長度校正物鏡。
在垂直照明器，光從光源，通常為12伏50或100瓦鎢鹵素?zé)粜羞M(jìn)，穿過收集器的透鏡，通過可變孔徑光圈開口和通過可變和定心預(yù)聚焦場光圈的開口隔膜。然后，光撞擊部分鍍銀平面玻璃反射器，或撞擊橢圓開口，用于暗場照明（圖5）的反射鏡的一個(gè)完全鍍銀周邊。平面玻璃反射器部分鍍銀上面向光源和抗反射涂覆在面向觀察筒在明反射照明玻璃側(cè)玻璃側(cè)。光從而向下偏轉(zhuǎn)到物鏡。反射鏡以45度的光沿垂直照明行進(jìn)的路徑的角度傾斜。
光到達(dá)樣品，其可以吸收一些光并反射一些光，無論是在一個(gè)鏡面或漫反射的方式。被返回向上可以通過根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑的物鏡被捕獲，然后光通過部分鍍銀反射鏡（或在暗視野，通過橢圓孔）。在無限遠(yuǎn)校正物鏡的情況下，光從物鏡，在平行（從每個(gè)方位）線投射樣品到無窮的圖像。平行光線進(jìn)入管透鏡，其在所述目鏡的固定光闌開口（中間圖像平面）的平面形成的樣品的圖像。要注意的是很重要的，在這些反射光的系統(tǒng)中，物鏡具有雙重功能：在向下作為正確對準(zhǔn)的匹配良好校正的聚光鏡的方法;的方式向上作為突出朝向目鏡的圖像承載光的物鏡的習(xí)慣性作用的成象物鏡。當(dāng)儀器調(diào)節(jié)，以產(chǎn)生科勒照明最佳性能的反射光照明實(shí)現(xiàn)。（除了提供分散均勻照明）柯勒照明的功能是確保該物鏡將能提供優(yōu)良的分辨率和即使光的源是線圈燈絲燈良好的對比度。
一些現(xiàn)代的反射光照明被描述為普遍照明因?yàn)?，與幾個(gè)額外的配件和很少或沒有拆解，顯微鏡可以容易地從反射光顯微術(shù)的一個(gè)模式切換到另一個(gè)。通常，反射鏡可以從光路共以便允許透射光觀察中移除。這樣的通用發(fā)光器可以包括部分反射平面玻璃表面（半反射鏡），用于明，并與用于暗場觀察用橢圓形的，位于中央的清晰開口完全鍍銀反射面。的最佳設(shè)計(jì)的垂直照明包括集電極透鏡來收集和控制光，孔徑光圈和預(yù)聚焦，定心場光闌，以允許期望的科勒照明。
垂直照明器（圖2）也應(yīng)作出規(guī)定的過濾器對比度和顯微攝影，偏光片，分析片，并補(bǔ)償板的偏振光和微分干涉對比照明的插入。在設(shè)計(jì)用于無限遠(yuǎn)校正物鏡垂直照明，照明器還可以包括一個(gè)管透鏡。固定到垂直照明的后端是一個(gè)燈箱（圖3），它通常包含鎢鹵素?zé)?。對于熒光工作，燈箱能與含有汞的燃燒器的嵌合來代替。該燈可以通過內(nèi)置在顯微鏡電子支架，或者在熒光，由外部變壓器或供電的裝置進(jìn)行供電。
在反射光顯微術(shù)，吸收和通過樣品中的入射光線的衍射常常導(dǎo)致通過灰度，或彩色的各種色調(diào)的圖像中容易辨別變型中，從黑色如果樣品著色。這樣的標(biāo)本被稱為振幅標(biāo)本和可以不需要特殊的對比度的方法或處理，以使它們的細(xì)節(jié)可見。其他標(biāo)本顯示，強(qiáng)度和/或顏色，這樣差別不大，他們的功能細(xì)節(jié)是非常難以辨別，分清在明反射光顯微鏡。這樣的樣本的行為類似于載物臺標(biāo)本在透射光下的工作如此熟悉，而且適合于暗場和反射光微分干涉對比應(yīng)用。
