等離子體刻蝕機-水路系統(tǒng)

等離子體刻蝕機中的水路系統(tǒng)，主要是指設(shè)備中的冷卻水，是給設(shè)備中的發(fā)熱部件進行冷卻，防止部件過熱保護而不工作。設(shè)備中需要冷卻的部件主要是真空泵和射頻電源。


設(shè)備冷卻水路示意圖

需要冷卻的真空泵主要是無油機械泵和分子泵，其中無油機械泵又叫前級泵，其冷卻的部件主要是內(nèi)部的電機和泵體部分。我接觸到的用于等離子體刻蝕機中的無油機械泵內(nèi)部通常是兩路水，一路給電機冷卻，一路給泵體。而泵體的冷卻水路是通常是根據(jù)溫度控制的。


干泵冷卻水路示意圖
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