這里主要介紹的等離子體刻蝕機，主要是科研用的，非工廠用，但是原理都是基本相同的。作為設(shè)備工程師，這里分享的是按照我的理解。
首先說等離子體刻蝕機，從網(wǎng)上或者其他資料查到的介紹其結(jié)構(gòu)，大概類似像下圖這樣的，
圖1 等離子體刻蝕機結(jié)構(gòu)
這樣的結(jié)構(gòu)圖可以很快的了解整臺設(shè)備有哪些配件，很方便入門。不過對于我來說，這還不能滿足我的好奇心，這張圖不能從邏輯結(jié)構(gòu)上說明刻蝕機的核心原理。
按照我的理解，等離子體刻蝕機的核心是產(chǎn)生等離子體，設(shè)備的搭建要圍繞怎么產(chǎn)生等離子體，下圖是我理解的結(jié)構(gòu)圖：
圖2 等離子體產(chǎn)生的順序圖
要產(chǎn)生等離子體，首先要有一套真空系統(tǒng)，能夠把腔體里的大氣抽干凈，直至高真空，至少要到10? -4 Pa 量級，這樣才能保證后面通入工藝氣體后，沒有過多的雜質(zhì)氣體參與。
然后，通入工藝氣體，根據(jù)自己后期的工藝需求，選擇工藝氣體，比如氯基氣體，氟基氣體，或者惰性氣體等。
最后，經(jīng)過上面兩步后，腔體里有了氣體和相應(yīng)的工藝壓強，此時打開射頻電源，就可以產(chǎn)生等離子體。
至此，如果腔體里放置了樣品，就會在等離子體的作用（物理轟擊或者化學(xué)反應(yīng)）下，被刻蝕。
這就是等離子體刻蝕機的邏輯結(jié)構(gòu)。然后再結(jié)合圖1，就能更全面和深入的了解的等離子體刻蝕機了。
