恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器采用不銹鋼材質(zhì)打造，其特殊的流道設(shè)計能引導(dǎo)氣體形成均勻?qū)恿?。在真空腔體回填環(huán)節(jié)，這種設(shè)計可減少氣流擾動，避免腔室內(nèi)殘留顆粒被揚起。配合真空卡環(huán)與卡套結(jié)構(gòu)，過濾器能快速集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中，為 CVD、PVD 等設(shè)備的真空環(huán)境恢復(fù)提供穩(wěn)定支持，有助于維持工藝環(huán)境的潔凈狀態(tài)。