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用紫外光或極紫外光作刀,在晶圓上雕刻出設(shè)計(jì)好的圖案,說(shuō)著簡(jiǎn)單,事時(shí)上其難度超乎想象。 現(xiàn)在最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)是荷蘭的ASML,上面有10萬(wàn)個(gè)零...