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用紫外光或極紫外光作刀，在晶圓上雕刻出設(shè)計好的圖案，說著簡單，事時上其難度超乎想象。 現(xiàn)在最先進的EUV光刻機是荷蘭的ASML，上面有10萬個零件，一輛汽車大概是5000個零...
發(fā)簡信