關于怎么修antenna,其實不用多說了,但是為什么要向上跳線呢,我們知道天線效應的產(chǎn)生粗略的講就是金屬表面積累的電荷過多,我們都知道做mask的時候是從低層往高層做的。每一道工序都有諸如平坦化(會引入靜電),隔離等,之后肯定會有靜電泄放(離子清洗)的操作。從這個角度來說,假如metal3過大有antena的問題,我們用metal4對其跳線。在做metal3的mask時,metal3實際上分開的,只有做到metal4的時候他們才會連起來,而到metal4時,metal3的表面電荷已經(jīng)由于工藝過程減少很多了;而如果用metal2對其跳線,在做metal3時,metal2和metal3是會相連的,并沒有起到減少電荷的作用。
總結(jié)一句話就是底層金屬先被制造,比如metal3實際上是分開的,做完后會有泄放電荷(離子清洗)的操作,然后跳線metal4電荷就很少了。向上跳線可以讓這一層引入的電荷沒那么多,向下跳線金屬始終是連在一起的,沒辦法泄放電荷。
向上跳線是先泄放電荷再連接,向下跳線是先連接再泄放電荷。
還有一種實踐方法就是插入反偏二極管,也就是天線二極管;目的之一就是通過二極管的反向漏電流來釋放電荷,并且增大了柵極的面積,提高了承受放電電流的能力。